用途：該儀器專門用于硅單晶棒定向測量，與我公司生產的YX-5Z\6Z及多線切割設備配套使用，最大特點是，測量晶向后直接計算出晶棒的偏轉角，X和Y值，并對偏晶向的要求可進行準確計算出偏晶向的角度值。
  結構：該儀器有X射線控制器、測角儀、記錄儀、電磁光閘、微機控制、鍵盤、輸入信息、屏幕菜單顯示、數據打印、角度顯示、峰值強度表等組成。計算軟件采用國際通常算法，以度為單位，顯示最小精度0.001度，測量精度±0.008度（±30〃），能夠測量直徑3～8英寸，長450㎜，測量晶面為111、100等。
  型號：  YX-5D為雙測角儀,一邊定向計算，一邊測片（8英寸）。
          YX-5DA為單測角儀，定向計算。

  主要參數：