針對客戶測量大直徑、長尺寸硅晶圓片、晶棒而設計，此儀器為雙工作位。

  標準配置如下：GA, GC測角儀。
    1、一側用于測3--8英寸晶圓片111、100面，還可測晶棒參考面（110）等角度。
    2、另一側用于測直徑5----8英寸，長800mm晶棒（111、100）晶面等角度。

  主要參數：